旋片式真空泵的轉(zhuǎn)子與泵腔以及轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間有的間隙，互不接觸，且不需要用油潤滑。同時，它的轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，可以提高轉(zhuǎn)速，從而能夠制造出結(jié)構(gòu)緊湊的大抽速泵來。在它工作時，整體振動小，容積大，容積利用系數(shù)＝0.5左右。在泵腔內(nèi)并不發(fā)生像機(jī)械真空泵那樣的壓縮現(xiàn)象，因此它不需要排氣閥。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。